Einführung in Silane
Silan, die Verbindung von Silizium und Wasserstoff, ist ein allgemeiner Begriff für eine Reihe von Verbindungen, einschließlich Monosilan (SiH4), disilane (Si2H6) und einige höherstufige Silizium-Wasserstoff-Verbindungen. Derzeit ist monosilan. Im Allgemeinen wird Monosilan kurz als Silan bezeichnet.
Als Gasquelle, die Siliziumkomponenten liefert, kann Silan verwendet werden, um hochreines polykristallines Silizium, Einkristallines Silizium, mikrokristallines Silizium, amorphes Silizium, Siliziumnitrid, Siliziumoxid, heterogenes Silizium und verschiedene Metallsiziziden herzustellen. Aufgrund seiner hohen Reinheit und Feinkontrolle ist es zu einem wichtigen Spezialgas geworden, das viele andere Siliziumquellen nicht ersetzen können. Silane ist in der Mikroelektronik und optoelektronischen Industrie weit verbreitet, um Solarzellen, Flachbildschirme, Glas- und Stahlbeschichtungen herzustellen, und ist das einzige Zwischenprodukt der Welt für die Massenproduktion von granuliertem hochreinem Silizium. Hightech-Anwendungen von Silan sind noch im Entstehen, unter anderem für die Herstellung von fortschrittlicher Keramik, Verbundwerkstoffen, funktionalen Materialien, biologischen Materialien, hochenergetischen Materialien usw. und werden zur Grundlage vieler neuer Technologien, neuer Materialien und neuer Geräte. Silane ist auch für seine einzigartige spontane Verbrennung und explosive Eigenschaften bekannt. Silane hat einen sehr breiten spontanen Zündbereich und starke Verbrennungsenergie, die bestimmt, dass es sich um ein hochgefährliches Gas handelt.
