Wie kann die Stabilität der Aluminiumoxid-Polierschlämme verbessert werden?
In den letzten Jahren hat die Aluminiumoxid-Polierflüssigkeit mit der Entwicklung der LED-Industrie und der steigenden Nachfrage nach Edelsteinsubstraten mit ihrer hohen Polierrate eine gute Anwendungsperspektive in Saphir-Polierflüssigkeit.
Jedoch, beim Polieren von Aluminiumoxid-Polierflüssigkeit hat schlechte Dispersionsstabilität, Polierverfahren ist leicht zu erscheinen das Phänomen der Agglomeration, Polieren Oberflächenkratzer. Viele Forscher haben untersucht, wie die Stabilität von Aluminiumoxid-Polierflüssigkeit verbessert werden kann.
Nanometer-Aluminiumoxid-Partikel in polarer wässriger Lösung zerstören aufgrund der elektrostatischen Kraft und anderer Aktionen von Aluminiumoxidpartikeln agglomerieren, anfällig für Flockungsschichtung und andere Phänomene, zerstören die Dispersion und Stabilität der Polierflüssigkeit. Die Agglomeration von Schleifpartikeln erzeugt große Mizellen, was die Hauptursache für Kratzer auf der Substratoberfläche beim chemisch-mechanischen Polieren ist. Die Größe und Verteilung von Aluminiumoxidpartikeln, Zeta-Potenzial, Art und Qualität des Stabilisators und disdistant der Polierflüssigkeit zugesetzt haben großen Einfluss auf die Stabilität der Polierflüssigkeit.
Die Oberflächenmodifikation von Nano-Aluminiumoxid kann die Regelmäßigkeit der Partikeloberfläche verbessern, Polierkratzer und Gruben reduzieren und die Dispersion von Aluminiumoxid-Abrasiv und die Stabilität von Polierflüssigkeit verbessern.
Die übliche Behandlungsmethode besteht darin, Kupplungsmittel, organische Stoffe, anorganische Stoffe usw. zu verwenden, um eine Schicht aus weichem Material auf der Oberfläche von Aluminiumoxidpartikeln mit hoher Härte zu beschichten, um Polierkratzer und Gruben und andere Defekte zu reduzieren und dann die Stabilität und Dispersion von Aluminiumoxid-Polierflüssigkeit zu verbessern und die Abriebfestigkeit des Polierens von Schleifmitteln effektiv zu verbessern.
Darüber hinaus kann die Stabilität von Polierflüssigkeit durch Veränderung des Zeta-Potenzials von Aluminiumoxidpartikeln verbessert werden.
